介紹
首先，讓我們來看看這些電子元件是如何工作的。我會簡單複習電晶體元件的原理，然後在電晶體根據摩爾定律微縮時，所面臨到的困難，帶大家一起去從中思考去開發新的元件結構。你將學習到短通道效應的原因，且應用多閘極結構來改善電晶體的效能。
接下來，我會介紹金屬矽化物製程，RSD改善、高介電材料閘極絕緣層及金屬閘極、應力技術等製程模組。這些技術就像是你的武器，可以讓你創造出各種元件結構。當尺寸微縮遇到困難時，提出相對應的元件製程模組，將每個模組整合起來，形成一個高效能電晶體元件。就像是蓋一個豪宅，你需要仔細地將每個模組整合起來，每個地方都需要有合適的結構，每個模組都有自己的角色和功能，完成之後讓人有個溫暖的家，而元件開發完成之後讓你有個更快的IC可以使用在電子產品上。
最後，在這門課程中，我會說明如何成為一名積體電路製程整合大師，透過靈活應用所學的知識與技能來配合目前電晶體的發展，並研發出令人驚嘆的高效能電晶體元件。
章節
* 以下章節為預覽，請點報名後點選開始上課，進入課程-
第一週：電晶體元件原理
- ● 1-1 電晶體結構及基本電性觀念
- ● 1-2 Id-Vd 圖工作原理
- ● 1-3 Id-Vg 圖工作原理 不公開
- ● 1-4 熱載子效應
- ● 1-5 影響載子遷移率因素
- ● 第一週練習題
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第二週：短通道效應及先進元件介紹
- ● 2-1 短通道效應
- ● 2-2 DIBL 原理及 SSRW結構
- ● 2-3 先進元件結構及模組介紹
- ● 2-4 FinFet結構介紹
- ● 2-5 GAA結構介紹
- ● 第二週練習題
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第三週：先進元件製程模組-金屬矽化物與RSD改善
- ● 3-1 金屬矽化物製程與目的
- ● 3-2 金屬矽化物製程模組評估
- ● 3-3 金屬矽化物製程問題
- ● 3-4 Raised S/D MOSFET
- ● 3-5 Schottky-Barrier MOSFET
- ● 第三週練習題
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第四週：先進元件製程模組-High-k Metal Gate
- ● 4-1 為什麼要使用高介電常數的閘極材料?
- ● 4-2 為什麼要使用金屬閘極
- ● 4-3 如何選擇高介電常數材料
- ● 4-4 物性及電性分析
- ● 4-5 金屬功函數的選擇
- ● 第四週練習題
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第五週：先進元件製程模組-應力技術(Strain Techniques)
- ● 5-1應力技術原理介紹
- ● 5-2 S/D應力結構
- ● 5-3 SMT & CESL
- ● 5-4 Stress Proximity Technique
- ● 5-5 Impact of density scaling
- ● 5-6 Strain Relaxed Buffer (SRB)
- ● 第五週練習題
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第六週：先進元件製程整合
- ● 6-1 Gate First and Gate Last Process
- ● 6-2 新穎元件-高遷移率通道材料
- ● 6-3 新穎元件-穿隧式元件
- ● 6-4 目前先進元件趨勢及方向
- ● 第六週練習題
常見問題
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學習履歷 ：
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此課程沒有設定常見問題
講師
林育賢
國立聯合大學電子工程學系教授 ｜ 查看講師評價 (9)
0.0
平均評價
Jun
2023-09-14 20:30:37有很多元件上的觀念，老師說明得非常清楚。用淺顯易懂的方式，讓我能夠理解電晶體元件上會有的特性和需要知道的知識!
匿名熊貓
2023-09-14 20:31:13老師認真教學 推
阿正
2023-09-14 20:42:12讚的 獲益良多
Wu
2023-09-14 21:04:01上課內容豐富生動，老師講的十分清楚，教學認真，大推！
儒
2023-09-15 14:29:38課程內容清楚明瞭，對於元件部分講解明確，與製程方面產生連結，十分受用
匿名熊貓
2023-10-04 22:41:24老師講解的很仔細，提出不同的方法改善製程，讓我更加了解元件製程。
匿名
2023-10-25 11:16:36講師說的很詳細 讚讚
JD
2023-11-27 01:05:25對於先進元件有很深入的了解，課程進行速度適中，概念也都有說明清楚，唯課程投影片/講義沒有辦法下載，整體而言佳
James
2023-11-30 13:15:57自我進修，充實起來!!
預覽影片 & 簡介
2023-自學課程-先進元件製程整合 (FT. 國立聯合大學)
想像一下，面臨元件越作越小的困難時，你正在成為元件研發工程師的超級英雄，而積體電路製程整合就是你的超能力！這門課程將教你如何將各種各樣的製程模組及元件結構，像是高介電材料閘極絕緣層及金屬閘極、鰭式電晶體和奈米片電晶體等，組合成高效能電晶體元件。